Epi 装置パーツへのコーティング

課題：
チャンバー洗浄後、チャンバー内やガス配管内の金属部に付着した湿気がプロセスガスと反応して塩酸(HCl)が生成され、腐食、金属イオンや金属パーティクルが発生。

 

Silcotekコートを施した結果：

• 疎水性であるアモルファス酸化ケイ素コーティングが湿気の付着を防ぎ、 HCl の生成を防止。
• 腐食を軽減することでメンテナンスのダウンタイムを短縮し、装置のランニングコストを削減。