IK Innovation バッフル盤・シャワーヘッド再生サービス
Recycling of Baffle Product
Including Baffle Aging Technology
韓国・IK Innovationが自社開発した装置と独自のAgingレシピよって、アッシング工程におけるバッフル盤・シャワーヘッドの初期シーズニング（ダミーラン）に要するダミーウェーハや処理時間の大幅削減を可能にします。
お客様よりお預かりした使用済み基材の再生だけでなく、品番によっては新品のご提供も可能です。
IK社自社開発装置は枚葉式（個別処理）です。
枚葉式で製品表面に特殊な前処理とプラズマ処理を施すことで、製品ごとの均一性が向上し、従来方式と同等以上の結果を得ています。
Recycling of Baffle Product including Baffle Aging Technology
OEM新品との比較データ
PM後、シャワーヘッド表面に特殊な前処理とプラズマ処理を施し、チャンバー内部の状態を以前の状態に近い状態に戻します。従来（OEM）の真空プラズマ方式では、バッチ式であるため、層ごと、製品ごとに均一性のばらつきが大きいという欠点がありました。そこで、IK社自社装置では枚葉式（個別処理）にて、製品表面に特殊な前処理とプラズマ処理を施すことで、製品ごとの均一性が向上し、従来方式と同等以上の結果を得ています。
