SilcoTek 耐食性・デポ防止コーティング

アモルファスシリコンCVDコーティング

配管や半導体製造装置パーツへのコーティングが可能

  • 米国特許取得済みのCVDコーティング構造により、卓越した腐食防止性能と耐化学性能を発揮。
  • 複雑な形状の配管や継手、及び特注装置のいずれにも薄膜かつ均一なコーティング層を付与。
  • アスペクト比の非常に高い配管内部にも継ぎ目のない全面コートのコーティング層を形成。
  • ステンレススチール、ハステロイのほか、ガラスやセラミックなど様々な基材にコーティング可能。
  • 半導体製造装置パーツ(Etch、CVD、ALD、除害装置等)の長寿命化を実現。
  • 不活性コーティングによる配管のデポ詰まり防止効果。
  • 薄膜コーティング(1um程度)
  • 高い形状追随性(細長い配管内や湾曲した配管にも均一なコーティング可)
  • アモルファスシリコンによる緻密なコーティング膜
  • Non-PFASコーティング