静電チャック再生サービス
静電チャック再生サービス
各種CVD、PVD、エッチング装置向けのESC再生サービス
当社では、半導体製造装置に使用される静電チャック（ESC）の再生事業にも取り組んでいます。
長年にわたり確かな実績と豊富な経験を持つパートナー企業と連携し、200mm / 300mm 対応の各種ESCに幅広く対応しています。
現在では、200種類以上のESC再生を可能としており、その品質と対応力の高さから、世界の大手半導体メーカー各社より厚い信頼を獲得しています。
コスト削減と装置稼働率の最大化を同時に実現する、効果的なソリューションをご提供いたします。
Lam/Novellus
Speed :
02-267289-00、 02-343750-00、 15-265814-00
374 :
839-019090-374、 715-014790-374
ULVAC
Entron :
Silicone-290-TCA-NT-02
Mattson
E-HLDS :
VAEY300A
p-E :
3004863-4-A、3006763-2
AMAT
eMax CT+ :
0040-63476、0040-49504
DPS-Ⅱ:
0040-33215
Charger :
0041-11565、0041-52042、0041-08852
HDP :
0041-43898、0040-48594
Mesa :
0041-75950
Endura :
0010-03254、0010-01286
PSK
Cooling stage :
DES00*
