エピ・前工程プロセス用パーツ

Schunk Xycarb Technology

Pure Excellence

  • エピタキシャル成長用のグラファイト製品と石英製品
  • ASM社Epsilon装置向けグラファイト製品の純正メーカー
  • 確かな高純度、高加工精度製造技術
  • 独自のCVD SiCコーティング技術
  • 日本国内における30年以上の実績
  • 製造オートメーション化計画によるパーツ個体差の最小化
  • エピ工程によるシリコンウェーハの高品質化
  • 様々な半導体用途への展開
  • 300㎜ウェーハ向けパーツの安定供給